等離子表面處理儀合理的選擇能保證材料表面不被損傷，也能提升材料物理和化學(xué)性能，真空等離子處理儀處理材料是在真空環(huán)境下進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證樣品表面不被二次污染，泄壓時(shí)可以選擇氮?dú)庑箟?，避免空氣泄壓?duì)材料的影響，市面上真空等離子處理儀有眾多的品牌和型號(hào)，因此，選擇合適的尤為關(guān)鍵，下面就選型做簡單說明：

　　1.材料的大小

　　真空等離子處理是要把材料放入真空腔內(nèi)進(jìn)行處理，選擇真空腔尺寸的參考因素是材料的大小和批處理的數(shù)量，一般科研型的真空等離子處理儀的腔體是圓柱體，容積有2L、3L、5L和10L，材料尺寸大、批處理的量多，則選用大尺寸的腔體，反之，選擇小尺寸，一般選擇的是直徑150mm，深度200mm，容積3L的真空腔體。

　　2.材料的耐熱度

　　有些型號(hào)的真空等離子處理儀清洗腔在儀器運(yùn)行時(shí)，腔內(nèi)溫度會(huì)隨著清洗時(shí)間的增加逐漸升高，不銹鋼腔體真空等離子處理儀運(yùn)行180秒，測(cè)出的腔體內(nèi)溫度是60攝氏度，運(yùn)行超過10分鐘，腔體溫度會(huì)達(dá)到85攝氏度，石英腔體真空等離子處理儀運(yùn)行180秒，測(cè)出的腔體內(nèi)溫度是40攝氏度，運(yùn)行時(shí)間超過10分鐘，腔體溫度達(dá)43攝氏度。

　　等離子表面處理儀處理技術(shù)是干式處理法，替代了傳統(tǒng)的濕法處理技術(shù)具有以下優(yōu)勢(shì)：

　　1.環(huán)保技術(shù)：等離子體作用過程是氣固相干式反應(yīng)，不消耗水資源、無須添加化學(xué)藥劑；

　　2.效率高：整個(gè)工藝能在較短的時(shí)間內(nèi)完成；

　　3.成本低：裝置簡單，容易操作維修，少量氣體代替了昂貴的清洗液，同時(shí)也無處理廢液成本；

　　4.處理更精細(xì)：能夠深入微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務(wù)；

　　5.適用性廣：等離子表面處理技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)大多數(shù)固態(tài)物質(zhì)的處理，因此應(yīng)用的領(lǐng)域非常廣泛。