勻膠旋涂儀操作簡單,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,占地空間小,為實驗室提供了理想的解決方案??捎糜趯嶒炇翼椖拷ㄔO(shè).作為用于除半導(dǎo)體外,還有硅片、芯片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝,科研、教學(xué)之用。
勻膠旋涂儀的使用注意事項:
1.使用前主要檢查設(shè)備與真空泵和氮氣瓶的接口是否漏氣;
2.實驗時,依次打開設(shè)備電源開關(guān),氮氣/干燥氣體瓶閥門,真空開關(guān),結(jié)束時,先關(guān)真空,再關(guān)氮氣/干燥氣體瓶閥門;
3.氮氣/干燥氣體的壓力控制不宜過大建議氮氣瓶氣壓從0.35MPa起緩慢上調(diào),直至設(shè)備控制面板上的CDA停止閃爍即停止調(diào)整;
4.嚴(yán)禁放置超出設(shè)備限定范圍的過大過重材料,否則將會損壞設(shè)備的旋控精度;
5.所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盤甩小的樣片就會產(chǎn)生漏氣,同時造成膠被吸入抽氣室,導(dǎo)致氣路堵塞;
6.如果不慎膠被吸入了抽氣室,要立刻進(jìn)行清洗,否則吸附盤、光電盤、電機(jī)軸會黏在一起,造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動,拆卸亦很困難;
7.氣路堵塞或氣泵損壞時電機(jī)也可運轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片,故在啟動電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住;
8.實驗期間設(shè)備閑置時,為了保護(hù)好泵的工作性能,請關(guān)閉真空泵,建議泵的連續(xù)作業(yè)不超過1小時;
9.實驗結(jié)束后,請拭去設(shè)備內(nèi)腔殘留物,并清空廢液接收罐,使用原片遮住,將設(shè)各用塑料封套蓋好以避污染;
10.對于廢液廢氣的排放和處置,請遵守試劑使用的相關(guān)環(huán)保說明。